ZnSeウェーハ切断 未経験から: 角ブロック、丸ロッド、オープンテーブル

なぜZnSeウェハー切断は形状固有のソーを罰するのか？

ZnSeウェハー切断は、ほとんどのソーのカタログが省略している材料ハンドリングの事実から始まります。セレン化亜鉛は、都合の良い単一の形状で入荷することはめったにありません。この顧客の入荷材料は、一方には角形および長方形のブロック、もう一方には円筒形のロッドに分かれており、すべて赤外線光学部品用のウェハーになる予定でした。丸棒チャックを中心に設計された機械はロッドを処理しますが、ブロックは受け付けません。バイスとフェンスのセットアップはブロックを処理しますが、ロッドは扱いにくいです。形状固有のソーを購入することは、工場を2倍購入することを意味しました。.

材料はさらにリスクを高めます。. セレン化亜鉛 光学結晶の基準では柔らかく、クヌープ硬度は約105〜120で、ゲルマニウムやサファイアよりもはるかに低く、ろ脆性も高いため、クランプ力自体が欠陥源となります。機械的なクランプを信頼できるほどZnSeブロックを強く締め付けると、切断しようとしていたウェハーがすでに割れている可能性があります。正しい答えは、ワークピースの形状を規定せず、力で掴まない機械です。.

持ち込まれた形状を問わないオープンテーブル

SGシリーズのエンドレスダイヤモンドワイヤーソーは、構造的に形状の問題を解決します。ロードテーブルはオープンで、YZサーボ軸が連続的に循環するダイヤモンドワイヤーループを通してワークピースを移動させるフラットワークテーブルです。一致させるチャック形状はなく、直角を合わせるフェンスもなく、フィットさせるジョープロファイルもありません。ワークピースが作業エンベロープ内（SG 20では200×200 mm、SG 40では400×400×400 mm）に収まる限り、切断できます。ブロック、ロッド、切りくず、残材はすべて同じように取り付けられます。犠牲キャリアプレートに接着され、テーブル上に置かれます。.

その取り付け方法は、答えの後半部分です。接着固定により、保持荷重が接着面全体に分散されるため、柔らかいZnSeはポイントクランプ力を全く受けません。ワイヤーは、ろ脆性材料に対してエンドレスループが行うことを行います。一方向の移動、一定の張力、ワイヤー直径に等しいカーフ、およびブレードの逆転マークのない切断面です。ZnSeウェハー切断では、その面が下流の予算全体を占めます。カット時の品質のすべてのミクロンは、グラインディングステージが買い戻す必要のないミクロンです。.

初めてのプロセッサは実際に何が必要か？

この顧客には加工履歴がありませんでした。学習し直す固定習慣はありませんでしたが、開始する基準もありませんでした。ソーの出荷だけでは、高価な材料でプロセスをゼロから資格認定することになります。そのため、供給範囲はプロセスであり、その中に機械が含まれていました。

• 固定方法。. ブロックとロッドをキャリアプレートに接着する方法。接着剤の選択、接着パターン、および硬化方法。これにより、柔らかいZnSeがポイントで絞られるのではなく、全面で保持されます。.
• 切断パラメータ。. 彼らのための開始送り速度とワイヤー線速度 セレン化亜鉛 グレード。一般的なテーブルからコピーするのではなく、独自の材料でのテストカットによって確立され、書き込み設定として引き渡されました。.
• 脱着。. 切断後にエッジ損傷なしで完成したウェハーをキャリアプレートから取り外す方法。初めてのショップが最も頻繁に即興で行うステップであり、クリーンなウェハーを最も簡単に台無しにするステップです。.
• 下流のグラインディングプラン。. ワイヤーが供給するカット時の表面に合わせて調整された、後続のグラインディングステージのマッチングプラン。これにより、ウェハーは推測ではなく、既知の予算化された許容量を持ってソーから取り外されます。.

カット面の品質により、最後の引き渡しが落ち着きます。以下の写真は、顧客のZnSeウェハー切断結果をワイヤーから取り出した状態です。均一な面、エッジは無傷で、事前に計画されたグラインディング許容量に対応できます。.

��のモデル、1つの治具哲学

最終的な購入は1台の機械ではなく、小規模なフリートでした。在庫の広がりとそれに伴うジョブに合わせてサイズが調整されていました。

運用上重要な結果は1つです： ZnSeウェーハ切断は4台すべての機械で同じように実行されます—このフリートは1つのオープンテーブルロジック、同じキャリアプレート治具、そして同じワイヤ消耗品ファミリーを共有しています。SG 20で訓練されたオペレーターは、その週のうちにSG 40でも機能し、§ 03に記載されているプロセスドキュメントは、4つの別々の方法論ではなく、エンベロープ固有の番号でライン全体に適用されます。.

このファイルがツールチェーンのどこに位置するか

これは、このプラットフォームファミリーにおける3番目のスライス・アンド・シェイピングケースです： ゲルマニウムディスク スライシング 無人バッチ経済性を文書化し、 不規則なゲルマニウムレンズ切断ファイル コンターシステムを文書化し、そしてこれは新しい材料での形状非依存治具を文書化します。特にZnSeを評価する読者は、専用の ZnSeレンズ切断機 装置の詳細については、ページを参照してください。そして、§ 03計画が引き渡す研削および研磨ステーションのより広い 赤外線光学処理装置をご覧ください。 範囲を参照してください。.