웨이퍼 연삭 및 폴리싱 머신 DL-290 / DL-395
A 웨이퍼 연삭 및 연마기 평판 부품의 양면을 동시에 작업합니다. 부품은 플래너터리 캐리어에 장착되어 두 개의 플레이트 사이에서 회전하므로, 실리콘, 사파이어, 세라믹 및 유리 부품은 DL-290의 경우 최대 Ø290mm, DL-395의 경우 최대 Ø395mm까지 평탄하고 평행하게 가공됩니다.
이 머신의 기능 및 평판 부품의 가공 과정
곡면 렌즈는 스윙 스핀들에서 한 면씩 가공됩니다. 웨이퍼, 기판, 윈도우, 결정 블랭크와 같은 평판 부품은 다르게 가공됩니다. 두 개의 큰 플레이트 사이에서 양면을 동시에 가공하여 부품의 평탄도, 평행도 및 전체 두께를 일정하게 유지합니다. 웨이퍼 연삭 및 폴리싱 머신은 이러한 작업을 수행하며, 곡면 부품 폴리싱 머신의 평판 부품 대응 기계입니다.
동일한 플랫폼에서 고정 연마재 또는 슬러리를 사용하여 연삭한 후 패드와 컴파운드를 사용하여 폴리싱합니다. 생산된 부품을 측정하기 위해, 두께 분류기 평판 부품을 마이크로미터 단위로 측정합니다. 곡면 광학 부품의 경우, 렌즈 폴리셔 가 적합한 기계입니다.
DL-290은 6개의 스타 휠을 장착하고 최대 Ø290mm의 부품을 처리하며, DL-395는 5개의 스타 휠을 장착하고 더 높은 플레이트 압력으로 최대 Ø395mm의 부품을 처리합니다. 두 모델 모두 플래너터리 양면 설계를 공유합니다. 가장 큰 부품 크기와 배치 크기에 따라 선택하십시오.
웨이퍼 연삭 및 폴리싱 머신은 어떻게 부품을 평탄하게 유지합니까?
모든 부품을 두 개의 플레이트 사이에서 플래너터리 경로를 따라 이동시켜, 웨이퍼의 어떤 지점도 다른 지점보다 더 많은 마모를 겪지 않도록 합니다.
부품은 스타 휠 캐리어의 개구부에 놓입니다. 이 캐리어는 중앙 선 기어 및 외부 링 기어와 맞물리므로, 플레이트가 회전함에 따라 각 캐리어는 회전하고 궤도를 돌며 — 각 부품은 단일 원이 아닌 루핑 경로를 추적합니다. 이것이 마모를 평균화하고 웨이퍼를 평탄하게 만드는 원리입니다.
작업자가 제어하는 사항:
- 세 가지 독립적인 드라이브 — 상부 플레이트, 하부 플레이트 및 기어는 각각 자체 속도와 방향을 가진 가변 주파수 드라이브에서 작동합니다.
- 비례 밸브 압력 — 플레이트 하중은 전기적으로 설정되며, DL-290의 경우 최대 400kg, DL-395의 경우 최대 700kg입니다.
- 레시피 — 8개의 파라미터 세트와 10개의 레시피는 작업 설정을 저장하여 배치 간 반복이 가능합니다.
- 중앙 윤활 — 움직이는 기어는 한 지점에서 자동으로 오일 공급됩니다.
웨이퍼 연삭 및 폴리싱 머신은 두 개의 플레이트 사이에서 양면을 동시에 작업하므로, 전체 캐리어의 부품이 한 번의 실행으로 동일한 두께로 완성됩니다. 한 번에 한 면씩 가공하는 방식이 아닙니다.
귀하는 고정된 레시피가 아닌, 귀하의 부품을 위한 플랫폼과 플레이트, 캐리어, 연마재를 구매하는 것입니다. 귀하가 보유한 재료, 직경, 두께 및 유지해야 하는 평탄도를 저희에게 보내주시면, 견적과 함께 공구를 사양해 드리겠습니다.
결과에 영향을 미치는 네 가지 요소
캐리어의 로딩 및 언로딩은 수동으로 이루어지며, 플레이트가 닫히면 드라이브 하에서 연삭 및 폴리싱이 진행됩니다. 이것이 웨이퍼 연삭 및 폴리싱 머신이 올바르게 수행하는 작업입니다.
양면, 전체 캐리어 동시 작업
캐리어 내의 모든 부품은 상하부가 함께 작업되므로, 배치 전체가 한 번의 실행으로 평탄하고 평행하며 균일한 두께로 완성됩니다.
세 가지 드라이브로 움직임 설정
상부 플레이트, 하부 플레이트 및 기어 트레인은 각각 자체 가변 주파수 드라이브에서 독립적인 속도와 반전 기능을 갖추고 작동하므로, 플래너터리 모션은 재료에 맞게 조정됩니다.
비례 밸브로 설정된 압력
플레이트 하중은 데드 웨이트가 아닌 비례 밸브를 통해 전기적으로 제어되므로, 얇거나 깨지기 쉬운 웨이퍼에 필요한 하향력이 설정되고 유지됩니다.
레시피 및 자동 윤활
8개의 파라미터 세트와 10개의 레시피는 반복되는 작업에 대한 설정을 저장하며, 중앙 집중식 윤활은 수동 작업 없이 기어 트레인에 윤활유를 공급합니다.
어떤 재료를 연마하고 폴리싱할 수 있습니까?
| 항목 | 기능 |
|---|---|
| 부품 모양 | 평평한 부품 — 웨이퍼, 기판, 윈도우, 블랭크 |
| 가공되는 면 | 두 면 모두, 동시에, 두 개의 플레이트 사이에서 |
| 두께 | 3 – 30 mm |
| 최대 가공물 | Ø290mm (DL-290) · Ø395mm (DL-395) |
| 반도체 | 실리콘 및 갈륨 비소 웨이퍼 |
| 광학 및 경질 취성 | 광학 유리, 사파이어, 수정, 세라믹 기판 |
| 또한 | 금속 및 비금속 — 재료를 보내주시면 무료 시험 실행 |
웨이퍼 연마 및 폴리싱 기계는 평탄도, 평행도 및 두께 편차로 평가되므로, 이러한 수치를 보내주십시오. 유리를 선택하는 경우, 광학 재료 데이터 도움이 되며, 도면에는 치수가 ISO 10110 프레임워크에 따라 치수화된 경우 에 이상적입니다.
기술 사양
동일한 양면 플랫폼의 두 가지 크기. DL-395는 더 크고 압력이 높은 기계이며, 일부 DL-290 유틸리티 수치는 견적서에 명시되어 있습니다.
| 매개변수 | DL-290 | DL-395 |
|---|---|---|
| 플레이트 (OD × ID × H) | Ø973 × Ø403 × 50mm | Ø1165 × Ø377 × 50mm |
| 스타 휠 | 6 | 5 |
| 최대 가공물 | Ø290mm | Ø395mm |
| 두께 | 3 – 30 mm | 3 – 30 mm |
| 플레이트 압력 | 400kg | 700kg |
| 설치 전력 | 견적서에 명시 | 약 18 kW |
| 전체 치수 | 견적서에 명시 | 1850 × 1500 × 2900mm |
| 가공되는 면 | 두 면 모두, 동시에 |
| Frame | Gantry frame |
| 드라이브 | 세 개의 VFD 모터, 독립적인 속도 및 반전 |
| 압력 제어 | 전기 비례 밸브 |
| 레시피 | 8개 파라미터 세트 · 10개 레시피 |
| 윤활 | 자동, 중앙 집중식 |
| 인증 | CE |
연마 플레이트, 스타 휠 캐리어, 연마재 및 폴리싱 패드는 재료 및 평탄도 목표에 맞춰 선택되는 공정 소모품입니다. 별도로 견적됩니다.
주요 어셈블리 및 각 기능
이것은 작업자와 서비스 엔지니어가 현장에서 공유할 어휘입니다.
| 어셈블리 | Function |
|---|---|
| 상부 및 하부 플레이트 | 부품이 연마되거나 폴리싱되는 두 개의 작업 표면 |
| 스타 휠 캐리어 | 부품을 잡고 행성 궤도로 운반합니다. DL-290에는 6개, DL-395에는 5개가 있습니다. |
| 선 및 링 기어 | 캐리어를 구동하여 각 부품이 동시에 회전하고 궤도를 돕니다. |
| 갠트리 프레임 및 리프트 | 상부 플레이트를 지지하고 캐리어를 적재 및 하역하기 위해 들어 올립니다. |
| 세 개의 VFD 드라이브 | 상부 플레이트, 하부 플레이트 및 기어는 각각 자체 속도와 반전 기능을 갖습니다. |
| 비례 밸브 압력 | 플레이트 하중을 전기적으로 설정합니다. |
| 중앙 윤활 | 기어 트레인에 한 지점에서 오일을 공급합니다. |
유틸리티, 환경 및 안전
전기 공급, 냉각수 또는 슬러리 공급, 바닥 하중 및 기계가 작동될 주변 조건은 각 주문에 대해 안전 및 보호 장치와 함께 당사와 확인됩니다. 이러한 수치는 현장의 전압 및 주파수, 처리 중인 재료 및 대상 시장에 따라 다르므로 단일 세트를 여기에 게시하지 않습니다. DL-290 유틸리티 수치 중 일부는 견적과 함께 확인됩니다.
문의 시 현장 조건을 보내주시면 주문 전에 서면으로 유틸리티 및 환경 요구 사항을 보내드리겠습니다.
웨이퍼 래핑 및 연마기는 곡면 렌즈가 아닌 평평한 부품(웨이퍼, 기판 및 창)용입니다. 곡면 렌즈는 스윙 스핀들 폴리셔로 갑니다. 캐리어는 수동으로 로드되며, 새로운 재료는 시험 부품에서 플레이트, 연마재 및 압력을 검증해야 하므로 견적 전에 부품을 요청합니다.
기계 설치 후에는 어떻게 되나요?
동일한 조건이 전 세계 어디로 배송되는 모든 기계에 적용됩니다.
| 보증 기간 | 최종 승인 후 12개월 |
| 보증 기간 중 응답 | 8시간 이내 응답 · 24시간 이내 솔루션 제안 · 부품 조달, 설치 및 시운전을 포함하여 48시간 이내 문제 해결 |
| 보증 기간 이후 | 기계 수명 동안 서비스 및 예비 부품 이용 가능 |
| 인증 | CE |
사양은 설계 업그레이드로 인해 변경될 수 있습니다. 특정 부품에서 약간의 차이가 발생할 수 있습니다. 구속력 있는 사양은 주문 확인서를 참조하십시오.
기계 작동 시연
두 플레이트 사이의 캐리어를 래핑하는 DL 플랫폼과 행성 경로를 추적하는 스타 휠.
01 — 양면 래핑, 한 캐리어의 부품
02 — 행성 경로의 스타 휠
자동 렌즈 프로파일링 에저는 데이터시트만으로는 잘못 사양하기 쉽습니다. 직경 또는 윤곽, 챔퍼, 재질 및 유지해야 하는 공차를 포함한 부품 도면 1개와 자체 부품 몇 개를 보내주십시오. 당사에서 가공 후 반환해 드리며, 견적과 함께 공정 시트를 보내드립니다.
웨이퍼 래핑 및 연마기는 데이터시트에서 잘못 지정하기 쉽습니다. 재료, 직경, 두께, 그리고 유지해야 하는 평탄도 및 평행도를 몇 개의 부품과 함께 보내주십시오. 당사가 이를 처리하고 반환하며, 견적과 함께 공정 시트와 함께 배치에 맞는 크기(DL-290 또는 DL-395)를 보내드립니다.
부품이 평평하지 않고 곡면인 경우, 이 기계를 견적하는 대신 렌즈 폴리셔를 추천해 드릴 것입니다.
12개월 보증 · 고객 제공 재료로 무료 시험 가동
광학 고객 포함 에드먼드 옵틱스 그리고 코히어런트
관련 장비 및 자료:
- 렌즈 두께 분류기 AOI-20 — 마이크로미터 단위로 평면 부품 측정
- 볼록 렌즈 연마기 FP-4L — 마감의 곡면 광학 측면
- 틸트 축 렌즈 연마기 FP-6X — 평면 및 구면 면, 더 작은 부품
- 광학 렌즈 제작 라인 — 스테이션 연결 방법