Wafer-Läpp- und Poliermaschine DL-290 / DL-395
A Wafer-Läpp- und Poliermaschine die gleichzeitig beide Seiten eines Flachteils bearbeitet. Die Teile laufen in planetarischen Trägern zwischen zwei Platten, sodass Silizium, Saphir, Keramik und Glas flach und parallel herauskommen – bis zu Ø290 mm bei der DL-290, Ø395 mm bei der DL-395.
Was diese Maschine leistet und wohin Flachteile gehören
Gekrümmte Linsen werden einzeln auf einer Pendelspindel fertiggestellt. Flachteile – Wafer, Substrate, Fenster, Kristallrohlinge – werden anders bearbeitet: beide Seiten gleichzeitig, zwischen zwei großen Platten, sodass das Teil flach, parallel und über seine gesamte Breite gleichmäßig dick herauskommt. Eine Wafer-Läpp- und Poliermaschine erledigt diese Aufgabe und ist das Gegenstück für Flachteile zu den Linsenpoliermaschinen auf der gekrümmten Seite der Linie.
Dieselbe Plattform läppt mit einem festen Schleifmittel oder einer Suspension, dann poliert sie mit einem Polierpad und einer Paste. Zur Vermessung der produzierten Teile Dicken-Sortiermaschine misst Flachteile auf den Mikrometer genau; für gekrümmte Optiken sind die Linsenpoliermaschinen stattdessen die richtigen Maschinen.
Die DL-290 nimmt sechs Sternräder auf und bearbeitet Teile bis Ø290 mm; die DL-395 nimmt fünf auf und bearbeitet Teile bis Ø395 mm bei höherem Plattenspieldruck. Beide teilen sich das planetarische doppelseitige Design – wählen Sie die Größe nach Ihrem größten Teil und Ihrer Charge.
Wie hält eine Wafer-Läpp- und Poliermaschine ein Teil flach?
Indem jedes Teil auf einem planetarischen Pfad zwischen zwei Platten bewegt wird, sodass kein Punkt auf dem Wafer mehr Verschleiß erfährt als ein anderer.
Die Teile liegen in den Öffnungen der Sternradträger. Diese Träger greifen in ein zentrales Sonnenrad und ein äußeres Hohlrad, sodass sich bei Drehung der Platten jeder Träger sowohl dreht als auch umkreist – jedes Teil beschreibt eine Umlaufbahn anstelle eines einzelnen Kreises. Das gleicht den Verschleiß aus und macht den Wafer flach.
Was der Bediener steuert:
- Drei Antriebe, unabhängig – obere Platte, untere Platte und die Zahnräder laufen auf Frequenzumrichtern, jeweils mit eigener Drehzahl und Richtung
- Proportionalventil-Druck – der Plattenspiel ist elektrisch eingestellt, bis zu 400 kg bei der DL-290 und 700 kg bei der DL-395
- Rezepte – acht Parametersätze und zehn Rezepte speichern die Einstellungen für einen Auftrag, damit sie von Charge zu Charge wiederholt werden können
- Zentralschmierung – die beweglichen Zahnräder werden automatisch von einer Stelle aus geölt
Da eine Wafer-Läpp- und Poliermaschine beide Seiten gleichzeitig zwischen zwei Platten bearbeitet, kommt ein ganzer Träger von Teilen in einem Durchgang auf die gleiche Dicke, anstatt eine Seite und ein Teil nach dem anderen.
Sie kaufen eine Plattform und die Platten, Träger und Schleifmittel für Ihre Teile – nicht ein festes Rezept. Senden Sie uns das Material, den Durchmesser, die Dicke und die Ebenheit, die Sie einhalten müssen, und wir spezifizieren das Werkzeug mit dem Angebot.
Vier Dinge, die das Ergebnis bestimmen
Das Be- und Entladen der Träger erfolgt von Hand; das Läppen und Polieren läuft unter den Antrieben, sobald die Platten geschlossen sind. Dies sind die Punkte, die eine Wafer-Läpp- und Poliermaschine richtig macht.
Beide Seiten, ein ganzer Träger gleichzeitig
Jedes Teil in den Trägern wird oben und unten zusammen bearbeitet, sodass eine Charge in einem einzigen Durchgang flach, parallel und auf eine Dicke herauskommt.
Drei Antriebe steuern die Bewegung
Obere Platte, untere Platte und der Zahnradtrieb laufen jeweils auf einem eigenen Frequenzumrichter mit unabhängiger Drehzahl und Umkehrbarkeit, sodass die Planetenbewegung auf das Material abgestimmt ist.
Druckregelung durch Proportionalventil
Der Plattenspiel wird elektrisch über ein Proportionalventil anstelle von Gewichten gesteuert, sodass die Anpresskraft, die ein dünner oder spröder Wafer benötigt, eingestellt und gehalten wird.
Rezepte und automatische Schmierung
Acht Parametersätze und zehn Rezepte speichern die Einstellungen für wiederkehrende Aufträge, und die zentrale Schmierung versorgt das Getriebe ohne manuellen Eingriff.
Welche Materialien können damit geläppt und poliert werden?
| Artikel | Fähigkeit |
|---|---|
| Teileform | Flache Teile – Wafer, Substrate, Fenster, Rohlinge |
| Bearbeitete Flächen | Beide, gleichzeitig, zwischen zwei Platten |
| Dicke | 0,3 – 30 mm |
| Maximales Werkstück | Ø290 mm (DL-290) · Ø395 mm (DL-395) |
| Halbleiter | Silizium- und Galliumarsenid-Wafer |
| Optisch & hart spröde | Optisches Glas, Saphir, Quarzkristall, Keramiksubstrat |
| Auch | Metalle und Nichtmetalle – senden Sie Ihr Material für eine kostenlosen Testlauf |
Da eine Läpp- und Poliermaschine für Wafer nach Planheit, Parallelität und Dickentoleranz beurteilt wird, sind dies die Zahlen, die Sie angeben sollten. Wenn Sie Glas auswählen, die Daten zu optischen Materialien und Zeichnungen mit Bemaßungen auf die ISO 10110-Standard bemaßt sind sind ideal.
Technische Spezifikationen
Zwei Größen derselben doppelseitigen Plattform. Die DL-395 ist die größere Maschine mit höherem Druck; einige DL-290 Nutzdaten werden mit dem Angebot bestätigt.
| Parameter | DL-290 | DL-395 |
|---|---|---|
| Platte (AD × ID × H) | Ø973 × Ø403 × 50 mm | Ø1165 × Ø377 × 50 mm |
| Sternräder | 6 | 5 |
| Max. Werkstück | Ø290 mm | Ø395 mm |
| Dicke | 0,3 – 30 mm | 0,3 – 30 mm |
| Plattensdruck | 400 kg | 700 kg |
| Installierte Leistung | Auf Angebot bestätigt | ca. 18 kW |
| Gesamtmaße | Auf Angebot bestätigt | 1850 × 1500 × 2900 mm |
| Bearbeitete Flächen | Beide, gleichzeitig |
| Rahmen | Gantry frame |
| Antriebe | Drei Frequenzumrichter-Motoren, unabhängige Geschwindigkeit und Umkehrung |
| Druckregelung | Elektrisches Proportionalventil |
| Rezepte | 8 Parametersätze · 10 Rezepte |
| Schmierung | Automatisch, zentralisiert |
| Zertifizierung | CE |
Die Läppplatten, Sternradträger, Schleifmittel und Polierpads sind Prozessverbrauchsmaterialien, die für das Material und das Planheitsziel ausgewählt werden. Sie werden separat angeboten.
Hauptbaugruppen und ihre Funktion
Dies ist das Vokabular, das Ihr Bediener und unser Serviceingenieur auf der Fertigungsfläche gemeinsam verwenden werden.
| Baugruppe | Function |
|---|---|
| Obere und untere Platten | Die beiden Arbeitsflächen, zwischen denen die Teile geläppt oder poliert werden |
| Sternradträger | Halten die Teile und transportieren sie auf dem Planetenpfad; 6 auf der DL-290, 5 auf der DL-395 |
| Sonnen- und Planetenräder | Treiben die Träger an, sodass sich jedes Teil gleichzeitig dreht und umkreist |
| Portalrahmen & Hub | Trägt die obere Platte und hebt sie an, um die Träger zu beladen und zu entladen |
| Drei Frequenzumrichter-Antriebe | Obere Platte, untere Platte und Zahnräder, jeweils mit eigener Geschwindigkeit und Umkehrung |
| Proportionalventil-Druck | Stellt die Plattenlast elektrisch ein |
| Zentralschmierung | Versorgt den Getriebestrang von einer Stelle mit Öl |
Versorgungseinrichtungen, Umgebung und Sicherheit
Elektrische Versorgung, Kühlmittel- oder Slurry-Zufuhr, Bodenbelastung und die Umgebungsbedingungen, unter denen die Maschine betrieben werden soll, werden für jede Bestellung zusammen mit der mitgelieferten Sicherheits- und Schutzeinrichtung mit uns abgestimmt. Diese Werte hängen von der Spannung und Frequenz Ihres Standorts, dem von Ihnen bearbeiteten Material und dem Zielmarkt ab, daher veröffentlichen wir hier keine einzelnen Werte – und einige DL-290-Werte werden mit dem Angebot bestätigt.
Senden Sie uns die Standortbedingungen mit Ihrer Anfrage, und wir werden die Anforderungen an Versorgungseinrichtungen und Umgebung schriftlich zurücksenden, bevor die Bestellung aufgegeben wird.
Eine Wafer-Läpp- und Poliermaschine ist für flache Teile – Wafer, Substrate und Fenster – nicht für gekrümmte Linsen; diese gehören zu den Schwenkspindelpoliermaschinen. Die Halter werden von Hand beladen, und ein neues Material erfordert die Erprobung von Platte, Schleifmittel und Druck an Versuchsteilen, weshalb wir vor der Angebotserstellung nach Ihren Teilen fragen.
Was passiert nach der Installation der Maschine?
Die gleichen Bedingungen gelten für jede Maschine, die wir versenden, egal wohin auf der Welt sie geht.
| Garantiezeit | 12 Monate ab Endabnahme |
| Reaktion während der Garantiezeit | Reaktion innerhalb von 8 Stunden · Lösungsvorschlag innerhalb von 24 Stunden · Problembehebung innerhalb von 48 Stunden, einschließlich Beschaffung, Installation und Inbetriebnahme von Teilen |
| Nach der Garantiezeit | Service und Ersatzteile für die gesamte Lebensdauer der Maschine verfügbar |
| Zertifizierung | CE |
Spezifikationen können sich aufgrund von Design-Upgrades ändern. Geringfügige Unterschiede können bei bestimmten Teilen auftreten. Für eine verbindliche Spezifikation beziehen Sie sich auf die Auftragsbestätigung.
Sehen Sie die Maschine in Aktion
Die DL-Plattform, die einen Halter mit Teilen zwischen den beiden Platten läppt, und die Sternräder, die ihren planetarischen Weg verfolgen.
01 – Doppelseitiges Läppen, ein Halter mit Teilen
02 – Sternräder auf dem planetarischen Weg
Senden Sie eine Zeichnung und ein paar Teile
Eine Wafer-Läpp- und Poliermaschine lässt sich anhand eines Datenblatts leicht schlecht spezifizieren. Senden Sie uns das Material, den Durchmesser, die Dicke sowie die Ebenheit und Parallelität, die Sie einhalten müssen, zusammen mit einigen Ihrer eigenen Teile. Wir bearbeiten sie, senden sie zurück und senden Ihnen das Prozessblatt mit dem Angebot sowie die Größe – DL-290 oder DL-395 –, die zu Ihrer Charge passt.
Wenn Ihre Teile eher gekrümmt als flach sind, verweisen wir Sie stattdessen auf die Linsenpoliermaschinen, anstatt diese anzubieten.
12 Monate Garantie · Kostenloser Probelauf mit vom Kunden geliefertem Material
Zu den Optikkunden gehören Edmund-Optik und Kohärent
Zugehörige Ausrüstung und Lektüre:
- Linsendicken-Sortiermaschine AOI-20 — misst flache Teile auf den Mikrometer genau
- Konvexlinsen-Poliermaschine FP-4L – die Krümmungsoptik-Seite der Fertigstellung
- Tilt-Axis-Linsenpoliermaschine FP-6X – flache und sphärische Flächen, kleinere Teile
- Optik-Linsenfertigungslinie — wie die Stationen verbunden sind