Máy mài và đánh bóng tấm wafer DL-290 / DL-395
A máy mài và đánh bóng wafer hoạt động đồng thời cả hai mặt của chi tiết phẳng. Các chi tiết được đặt trong các bộ gá hành tinh giữa hai đĩa, do đó silicon, sapphire, gốm và thủy tinh có độ phẳng và song song — lên đến Ø290 mm trên DL-290, Ø395 mm trên DL-395.
Máy này làm gì, và các chi tiết phẳng được xử lý như thế nào
Các thấu kính cong được hoàn thiện từng mặt một trên trục quay. Các chi tiết phẳng — tấm wafer, đế, kính, phôi thấu kính — được hoàn thiện khác nhau: cả hai mặt cùng lúc, giữa hai đĩa lớn, do đó chi tiết có độ phẳng, song song và độ dày đồng nhất trên toàn bộ chiều rộng. Máy mài và đánh bóng tấm wafer thực hiện công việc đó, và nó là đối tác xử lý chi tiết phẳng với máy đánh bóng thấu kính ở phía cong của dây chuyền.
Cùng một nền tảng mài với vật liệu mài hoặc bùn mài cố định, sau đó đánh bóng bằng đệm và hợp chất. Để đo các chi tiết mà nó tạo ra, máy phân loại độ dày đo các chi tiết phẳng đến micron; đối với quang học cong, máy đánh bóng thấu kính là các máy phù hợp thay thế.
DL-290 chứa sáu bánh răng hành tinh và xử lý các chi tiết lên đến Ø290 mm; DL-395 chứa năm bánh răng và xử lý các chi tiết lên đến Ø395 mm với áp lực đĩa cao hơn. Cả hai đều chia sẻ thiết kế hành tinh hai mặt — chọn kích cỡ dựa trên chi tiết lớn nhất và số lượng lô của bạn.
Máy mài và đánh bóng tấm wafer giữ cho chi tiết phẳng như thế nào?
Bằng cách di chuyển mọi chi tiết theo quỹ đạo hành tinh giữa hai đĩa, do đó không có điểm nào trên tấm wafer bị mài mòn nhiều hơn điểm nào khác.
Các chi tiết nằm trong các lỗ của bộ gá bánh răng hành tinh. Các bộ gá đó ăn khớp với bánh răng mặt trời trung tâm và bánh răng vành ngoài, do đó khi các đĩa quay, mỗi bộ gá vừa quay vừa di chuyển theo quỹ đạo — mỗi chi tiết vẽ một quỹ đạo lặp lại thay vì một vòng tròn đơn lẻ. Đó là yếu tố làm đều độ mài mòn và giữ cho tấm wafer phẳng.
Người vận hành kiểm soát những gì:
- Ba ổ đĩa, độc lập — đĩa trên, đĩa dưới và bánh răng chạy trên ổ đĩa tần số biến đổi, mỗi ổ có tốc độ và hướng riêng
- Áp suất van tỷ lệ — tải đĩa được đặt bằng điện, lên đến 400 kg trên DL-290 và 700 kg trên DL-395
- Công thức — tám bộ tham số và mười công thức lưu cài đặt cho một công việc để chúng lặp lại từ lô này sang lô khác
- Bôi trơn trung tâm — các bánh răng chuyển động được bôi dầu tự động từ một điểm
Bởi vì máy mài và đánh bóng tấm wafer hoạt động đồng thời cả hai mặt giữa hai đĩa, toàn bộ bộ gá chi tiết sẽ có cùng độ dày trong một lần chạy, thay vì từng mặt và từng chi tiết một.
Bạn đang mua một nền tảng và các đĩa, bộ gá và vật liệu mài cho chi tiết của bạn — không phải một công thức cố định. Hãy gửi cho chúng tôi vật liệu, đường kính, độ dày và độ phẳng bạn cần đạt được, và chúng tôi sẽ chỉ định dụng cụ kèm theo báo giá.
Bốn yếu tố quyết định kết quả
Việc nạp và dỡ bộ gá được thực hiện bằng tay; quá trình mài và đánh bóng diễn ra dưới các ổ đĩa sau khi các đĩa đóng lại. Đây là những gì máy mài và đánh bóng tấm wafer thực hiện đúng.
Cả hai mặt, toàn bộ bộ gá cùng lúc
Mọi chi tiết trong bộ gá được xử lý đồng thời cả mặt trên và mặt dưới, do đó một lô sản phẩm có độ phẳng, song song và độ dày đồng nhất trong một lần chạy duy nhất.
Ba bộ truyền động điều khiển chuyển động
Tấm trên, tấm dưới và bộ truyền động bánh răng mỗi bộ chạy trên bộ truyền động tần số biến đổi riêng, với tốc độ và chiều quay độc lập, do đó chuyển động hành tinh được điều chỉnh theo vật liệu.
Áp suất được đặt bằng van tỷ lệ
Tải trọng tấm được điều khiển bằng điện thông qua van tỷ lệ thay vì bằng trọng lượng chết, do đó lực ép xuống mà một tấm mỏng hoặc dễ vỡ cần được cài đặt và duy trì.
Công thức và bôi trơn tự động
Tám bộ tham số và mười công thức lưu cài đặt cho các công việc lặp lại, và hệ thống bôi trơn trung tâm cung cấp dầu cho bộ truyền động bánh răng mà không cần thao tác thủ công.
Có thể mài và đánh bóng những vật liệu nào?
| Mục | Khả năng |
|---|---|
| Hình dạng bộ phận | Các bộ phận phẳng — tấm wafer, đế, cửa sổ, phôi |
| Các mặt được gia công | Cả hai, đồng thời, giữa hai tấm |
| Độ dày | 0,3 – 30 mm |
| Phôi lớn nhất | Ø290 mm (DL-290) · Ø395 mm (DL-395) |
| Chất bán dẫn | Tấm wafer silicon và gallium arsenide |
| Quang học & cứng giòn | Kính quang học, sapphire, tinh thể thạch anh, đế gốm |
| Ngoài ra | Kim loại và phi kim — gửi vật liệu của bạn để kiểm tra thử nghiệm miễn phí |
Bởi vì máy mài và đánh bóng tấm wafer được đánh giá dựa trên độ phẳng, độ song song và độ lệch độ dày, đó là những thông số cần gửi. Nếu bạn đang chọn kính, dữ liệu vật liệu quang học sẽ hữu ích, và các bản vẽ có kích thước theo Khung ISO 10110 là lý tưởng.
Thông số kỹ thuật
Hai kích cỡ của cùng một nền tảng hai mặt. DL-395 là máy lớn hơn, áp suất cao hơn; một số số liệu tiện ích của DL-290 sẽ được xác nhận kèm theo báo giá.
| Tham số | DL-290 | DL-395 |
|---|---|---|
| Tấm (OD × ID × H) | Ø973 × Ø403 × 50 mm | Ø1165 × Ø377 × 50 mm |
| Bánh răng hành tinh | 6 | 5 |
| Phôi lớn nhất | Ø290 mm | Ø395 mm |
| Độ dày | 0,3 – 30 mm | 0,3 – 30 mm |
| Áp suất tấm | 400 kg | 700 kg |
| Công suất lắp đặt | Xác nhận trên báo giá | khoảng 18 kW |
| Kích thước tổng thể | Xác nhận trên báo giá | 1850 × 1500 × 2900 mm |
| Các mặt được gia công | Cả hai, đồng thời |
| Frame | Gantry frame |
| Bộ truyền động | Ba động cơ VFD, tốc độ và chiều quay độc lập |
| Kiểm soát áp suất | Van tỷ lệ điện tử |
| Công thức | 8 bộ tham số · 10 công thức |
| Bôi trơn | Tự động, tập trung |
| Chứng nhận | CE |
Các tấm mài, bộ giữ sao, vật liệu mài và miếng đánh bóng là vật tư tiêu hao trong quy trình được chọn cho vật liệu và mục tiêu độ phẳng. Chúng được báo giá riêng.
Các cụm lắp ráp chính và chức năng của từng cụm
Đây là thuật ngữ mà người vận hành của bạn và kỹ sư dịch vụ của chúng tôi sẽ sử dụng chung tại xưởng.
| Cụm lắp ráp | Function |
|---|---|
| Tấm trên & dưới | Hai bề mặt làm việc mà các bộ phận được mài hoặc đánh bóng giữa chúng |
| Bộ giữ sao | Giữ các bộ phận và mang chúng theo quỹ đạo hành tinh; 6 trên DL-290, 5 trên DL-395 |
| Bánh răng mặt trời & bánh răng vành | Lái các bộ phận mang để mỗi bộ phận quay và di chuyển theo quỹ đạo cùng một lúc |
| Khung cổng & nâng | Mang tấm trên và nâng nó lên để tải và dỡ các bộ phận mang |
| Ba ổ đĩa VFD | Tấm trên, tấm dưới và bánh răng, mỗi bộ phận có tốc độ và chiều quay đảo chiều riêng |
| Áp suất van tỷ lệ | Đặt tải trọng tấm bằng điện |
| Bôi trơn trung tâm | Cung cấp dầu cho bộ truyền bánh răng từ một điểm |
Tiện ích, môi trường và an toàn
Nguồn điện, nguồn cung cấp chất làm mát hoặc bùn, tải trọng sàn và điều kiện môi trường xung quanh mà máy sẽ hoạt động được xác nhận với chúng tôi cho mỗi đơn hàng, cùng với các biện pháp an toàn và bảo vệ được cung cấp kèm theo. Các số liệu này phụ thuộc vào điện áp và tần số tại địa điểm của bạn, vật liệu bạn đang xử lý và thị trường đích, vì vậy chúng tôi không công bố một bộ số liệu duy nhất ở đây — và một số số liệu tiện ích của DL-290 sẽ được xác nhận cùng với báo giá.
Vui lòng gửi cho chúng tôi các điều kiện tại địa điểm của quý vị cùng với yêu cầu của quý vị và chúng tôi sẽ gửi lại các yêu cầu về tiện ích và môi trường bằng văn bản, trước khi đặt hàng.
Máy mài và đánh bóng wafer dùng cho các bộ phận phẳng — wafer, đế và cửa sổ — không phải cho các thấu kính cong; chúng được xử lý bằng máy đánh bóng trục xoay. Các bộ phận mang được tải bằng tay, và một vật liệu mới cần được chứng minh về tấm, chất mài mòn và áp suất trên các bộ phận thử nghiệm, đó là lý do chúng tôi yêu cầu các bộ phận của bạn trước khi báo giá.
Điều gì xảy ra sau khi máy được lắp đặt?
Các điều khoản tương tự áp dụng cho mọi máy chúng tôi vận chuyển, bất kể đi đâu trên thế giới.
| Thời gian bảo hành | 12 tháng kể từ khi chấp nhận cuối cùng |
| Phản hồi trong thời gian bảo hành | Phản hồi trong vòng 8 giờ · đề xuất giải pháp trong vòng 24 giờ · giải quyết vấn đề trong vòng 48 giờ, bao gồm mua sắm, lắp đặt và vận hành các bộ phận |
| Sau thời gian bảo hành | Dịch vụ và phụ tùng thay thế có sẵn trong suốt vòng đời của máy |
| Chứng nhận | CE |
Thông số kỹ thuật có thể thay đổi do nâng cấp thiết kế. Có thể có sự khác biệt nhỏ ở một số bộ phận. Đối với thông số kỹ thuật ràng buộc, vui lòng tham khảo xác nhận đơn hàng.
Xem máy đang hoạt động
Nền tảng DL mài các bộ phận mang giữa hai tấm, và các bánh xe sao di chuyển theo quỹ đạo hành tinh của chúng.
01 — Mài hai mặt, một bộ phận mang
02 — Bánh xe sao trên quỹ đạo hành tinh
Gửi một bản vẽ và một vài bộ phận
Máy mài và đánh bóng wafer rất dễ chỉ định sai từ bảng dữ liệu. Hãy gửi cho chúng tôi vật liệu, đường kính, độ dày, và độ phẳng và độ song song bạn cần giữ, cùng với một vài bộ phận của bạn. Chúng tôi sẽ xử lý chúng, trả lại chúng, và gửi bảng quy trình cùng với báo giá, cùng với kích thước — DL-290 hoặc DL-395 — phù hợp với lô hàng của bạn.
Nếu các bộ phận của bạn bị cong thay vì phẳng, chúng tôi sẽ giới thiệu bạn đến các máy đánh bóng thấu kính thay vì báo giá cho máy này.
Bảo hành 12 tháng · chạy thử miễn phí trên vật liệu do khách hàng cung cấp
Khách hàng quang học bao gồm Edmund Optics Và Coherent
Thiết bị và tài liệu liên quan:
- Máy phân loại độ dày thấu kính AOI-20 — đo các bộ phận phẳng đến micromet
- Máy đánh bóng thấu kính lồi FP-4L — mặt cong của quang học trong hoàn thiện
- Máy đánh bóng thấu kính trục nghiêng FP-6X — mặt phẳng và mặt cầu, các bộ phận nhỏ hơn
- Dây chuyền sản xuất thấu kính quang học — cách các trạm kết nối