ウェハーラッピング＆ポリッシングマシン DL-290 / DL-395
A ウェーハラッピング・ポリッシングマシン フラットパーツの両面を同時に加工します。パーツはプラネタリーキャリア内で2枚のプレート間に配置されるため、シリコン、サファイア、セラミック、ガラスは平坦かつ平行に仕上がります — DL-290では最大Ø290 mm、DL-395では最大Ø395 mmまで対応可能です。.
この機械の機能とフラットパーツの加工プロセス
湾曲レンズは、スイングスピンドルで片面ずつ仕上げられます。ウェハー、基板、ウィンドウ、クリスタルブランクなどのフラットパーツは、両面を同時に、2枚の大きなプレート間で加工することで、平坦かつ平行で、幅全体にわたって均一な厚さで仕上がります。ウェハーラッピング＆ポリッシングマシンがこの作業を担当し、ラインの湾曲側にあるレンズポリッシャーのフラットパーツ版となります。.
同じプラットフォームで、固定砥粒またはスラリーによるラッピングを行い、次にパッドとコンパウンドによるポリッシングを行います。生成されるパーツを測定するため、 厚さ選別機 はフラットパーツをミクロン単位で測定します。湾曲光学部品の場合は、 レンズポリッシャー が適切な機械となります。.
DL-290は6つのスターホイールを備え、最大Ø290 mmのパーツに対応します。DL-395は5つのスターホイールを備え、より高いプレート圧力で最大Ø395 mmのパーツに対応します。どちらもプラネタリー両面設計を採用しています — 最大パーツサイズとバッチサイズに応じて選択してください。.
ウェハーラッピング＆ポリッシングマシンは、どのようにしてパーツを平坦に保つのか？
すべてのパーツを2枚のプレート間のプラネタリー経路で移動させることで、ウェハー上のどの点も他の点よりも多くの摩耗を受けないようにします。.
パーツはスターホイールキャリアの開口部に配置されます。これらのキャリアは中央のサンギアと外側のリングギアに噛み合い、プレートが回転すると、各キャリアはスピンと公転の両方を行い、各パーツは単一の円ではなく周回経路をトレースします。これが摩耗を平均化し、ウェハーを平坦に仕上げる仕組みです。.
オペレーターが制御するもの：
- のドライブ、独立 — アッパープレート、ロアプレート、ギアは可変周波数ドライブで動作し、それぞれ独自の速度と方向を持ちます。
- 比例弁圧力 — プレート荷重は電気的に設定され、DL-290では最大400 kg、DL-395では最大700 kgです。
- レシピ — 8つのパラメータセットと10のレシピでジョブの設定を保存し、バッチ間で繰り返し再現できます。
- 集中潤滑 — 可動ギアは1箇所から自動的に注油されます。
ウェハーラッピング＆ポリッシングマシンは、2枚のプレート間で両面を同時に加工するため、キャリア全体の一括したパーツが一度のランで同じ厚さに仕上がります。片面ずつ、またはパーツごとに加工するのではなく、まとめて加工します。.
お客様は、固定レシピではなく、プラットフォームと、パーツ用のプレート、キャリア、砥粒を購入することになります。お客様がお持ちの材料、直径、厚さ、保持すべき平坦度をお知らせいただければ、お見積もりと合わせて最適なツーリングを提案いたします。.
結果を決定する4つの要素
キャリアのローディングとアンローディングは手作業で行われます。ラッピングとポリッシングのランは、プレートが閉じた後、ドライブによって実行されます。これらがウェハーラッピング＆ポリッシングマシンが正しく行うべき点です。.
両面、キャリア全体を一度に
キャリア内の各部品は上下同時に加工されるため、バッチは単一のランで平坦、平行、および1つの厚さで仕上がります。.
のドライブが動きを設定
上部プレート、下部プレート、およびギアトレインはそれぞれ独自の可変周波数ドライブで動作し、独立した速度と逆転を備えているため、惑星運動は材料に合わせて調整されます。.
プロポーショナルバルブによる圧力設定
プレート荷重は、デッドウェイトではなくプロポーショナルバルブを介して電気的に制御されるため、薄いまたは脆いウェーハに必要なダウンフォースが設定され、保持されます。.
レシピと自動潤滑
のパラメータセットと10のレシピで繰り返しジョブの設定を保存し、集中潤滑により手動での給油なしにギアトレインに供給します。.
どの材料をラップおよび研磨できますか？
| アイテム | 能力 |
|---|---|
| 部品形状 | フラット部品 — ウェーハ、基板、ウィンドウ、ブランク |
| 加工される面 | 両方、同時に、2つのプレートの間で |
| 厚さ | 3 – 30 mm |
| 最大ワークピース | Ø290 mm (DL-290) · Ø395 mm (DL-395) |
| 半導体 | シリコンおよびガリウムヒ素ウェーハ |
| 光学および硬脆性材料 | 光学ガラス、サファイア、水晶、セラミック基板 |
| また | 金属および非金属 — 材料を送って 無料トライアルを実行 |
ウェーハのラップおよび研磨機は、平坦度、平行度、および厚さのばらつきで評価されるため、それらの数値を送信する必要があります。ガラスを選択している場合、 光学材料データ が役立ち、図面には ISO 10110 フレームワーク に送付していただけると理想的です。.
技術仕様
同じ両面プラットフォームの2つのサイズ。DL-395はより大きく、より高圧のマシンです。一部のDL-290ユーティリティ数値は、見積もりで確認されます。.
| パラメータ | DL-290 | DL-395 |
|---|---|---|
| プレート (OD × ID × H) | Ø973 × Ø403 × 50 mm | Ø1165 × Ø377 × 50 mm |
| スターホイール | 6 | 5 |
| 最大ワークピース | Ø290 mm | Ø395 mm |
| 厚さ | 3 – 30 mm | 3 – 30 mm |
| プレート圧力 | 400 kg | 700 kg |
| 設置電力 | 見積もりで確認 | 約 18 kW |
| 全体寸法 | 見積もりで確認 | 1850 × 1500 × 2900 mm |
| 加工される面 | 両方、同時に |
| Frame | Gantry frame |
| ドライブ | のVFDモーター、独立した速度と逆転 |
| 圧力制御 | 電気比例バルブ |
| レシピ | のパラメータセット・10のレシピ |
| 潤滑 | 自動、集中型 |
| 認証 | CE |
ラッププレート、スターホイールキャリア、研磨材、研磨パッドは、材料と平坦度の目標に合わせて選択されるプロセス消耗品です。これらは別途見積もりされます。.
主要なアセンブリとその機能
これは、オペレーターとサービスエンジニアが現場で共有する語彙です。.
| アセンブリ | Function |
|---|---|
| 上部および下部プレート | 部品がラップまたは研磨される2つの作業面 |
| スターホイールキャリア | 部品を保持し、プラネタリーパス上で搬送します。DL-290には6個、DL-395には5個搭載されます。 |
| サン＆リングギア | 各部品が同時に回転および公転するようにキャリアを駆動します。 |
| ガントリーフレーム＆リフト | 上部プレートを支持し、キャリアのロードおよびアンロードのために持ち上げます。 |
| のVFDドライブ | 上部プレート、下部プレート、およびギア。それぞれ独自の速度と逆転機能を備えています。 |
| 比例弁圧力 | プレートのロードを電気的に設定します。 |
| 集中潤滑 | のポイントからギアトレインにオイルを供給 |
ユーティリティ、環境、および安全性
電気供給、クーラントまたはスラリー供給、床荷重、および機械が動作する周囲条件は、注文ごとに確認され、付属の安全および保護装置とともに提供されます。これらの数値は、お客様のサイトの電圧と周波数、処理中の材料、および仕向け市場によって異なります。そのため、ここでは単一のセットを公開していません。また、一部のDL-290ユーティリティ数値は、見積もりとともに確認されます。.
お問い合わせ時にサイト条件をお送りいただければ、注文前にユーティリティおよび環境要件を書面でお返しします。.
ウェーハラッピングおよび研磨機は、平面部品（ウェーハ、基板、ウィンドウ）用であり、曲面レンズ用ではありません。曲面レンズはスイングスピンドル研磨機にかけられます。キャリアは手動でロードされ、新しい材料は、試作品でプレート、研磨材、および圧力を検証する必要があります。そのため、見積もり前に部品をお預かりします。.
機械が設置された後はどうなりますか？
世界中のどこにでも出荷されるすべての機械に同じ条件が適用されます。.
| 保証期間 | 最終受入後12ヶ月 |
| 保証期間中の対応 | 8時間以内の応答・24時間以内のソリューション提案・48時間以内の問題解決（部品の調達、設置、試運転を含む） |
| 保証期間終了後 | 機械寿命期間中のサービスおよびスペアパーツ提供 |
| 認証 | CE |
仕様は設計改良により変更される場合があります。一部の部品に若干の違いが生じる場合があります。正式な仕様については、注文確認書を参照してください。.
機械の稼働状況を見る
2枚のプレート間で部品キャリアをラッピングするDLプラットフォームと、プラネタリーパスをトレースするスターホイール。.
01 — 両面ラッピング、部品1キャリア
02 — プラネタリーパス上のスターホイール
図面1枚と部品数個をお送りください
ウェーハラッピングおよび研磨機は、データシートから誤って仕様を決定しやすいです。材料、直径、厚さ、および保持する必要のある平面度と平行度、およびお客様自身の部品を数個お送りください。それらを処理し、返送し、プロセスシートを見積もりとともに、バッチに適したサイズ（DL-290またはDL-395）とともに送付します。.
部品が平面ではなく曲面である場合は、この機械の見積もりではなく、レンズ研磨機をご案内します。.
月保証 ・お客様提供材料での無料トライアルラン
光学系顧客には以下が含まれます エドモンド・オプティクス そして コヒーレント
関連機器および資料：
- レンズ厚さ選別機 AOI-20 — マイクロン単位で平面部品を測定します
- レンズ研磨機 FP-4L — 仕上げの曲面光学側
- チルト軸レンズ研磨機 FP-6X — 平面および球面面、小部品
- 光学レンズ製造ライン ・ステーションの接続方法