ゲルマニウムウェーハ両面ラップ加工：精密赤外線光学部品用の平坦で平行なブランクを製造する方法
ワイヤーソーでスライスした後、ゲルマニウムブランクには2つの問題があります。表面が十分に平坦ではなく、十分に平行でもありません。ワイヤーカットは、Φ50 mmのブランクでRa 0.6～1.2 μmの表面粗さとTTV（全厚み変動）8～15 μmを実現します。多くの赤外線光学用途では、そのまま球面加工に移行するには不十分です […]
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