게르마늄 웨이퍼 양면 래핑: 정밀 IR 광학용 평탄하고 평행한 블랭크를 생산하는 방법
와이어 톱으로 절단한 후 게르마늄 블랭크는 두 가지 문제를 안고 있습니다. 표면이 충분히 평평하지 않고, 충분히 평행하지도 않습니다. 와이어 절단은 Φ50mm 블랭크에 대해 TTV(총 두께 편차) 8-15μm로 Ra 0.6-1.2μm의 표면 거칠기를 제공합니다. 많은 적외선 광학 응용 분야에서 이는 구면 렌즈로 바로 들어가기에는 충분하지 않습니다. […]
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