Germanium Wafer Doppelseitiges Läppen: Wie man flache, parallele Rohlinge für präzise IR-Optiken herstellt

Nach dem Drahtsägen weist ein Germanium-Rohling zwei Probleme auf: Die Oberflächen sind nicht flach genug und nicht parallel genug. Das Drahtsägen liefert eine Oberflächenrauheit von Ra 0,6–1,2 μm mit einer TTV (Total Thickness Variation) von 8–15 μm auf einem Φ50 mm Rohling. Für viele Infrarotoptik-Anwendungen ist das nicht gut genug, um direkt in sphärische […]

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