Wie man Spannungsschäden beim Schneiden von Saphirwafern verringert
Einleitung: Die Zerbrechlichkeit von Saphir unter Druck Saphirwafer werden in der Halbleiter-, Optoelektronik- und LED-Branche wegen ihrer überragenden Härte, optischen Transparenz und thermischen Stabilität geschätzt. Die gleiche Härte macht das Schneiden von Saphirwafern jedoch auch zu einem heiklen Prozess. Wenn das Schneiden nicht ordnungsgemäß kontrolliert wird, können Eigenspannungen entstehen, die zu Mikrorissen, Kantenabplatzungen, [...]
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