사례 파일 GE-2502 고객: 게르마늄 웨이퍼 생산 업체 (이름 비공개) 작업: 로드에서 웨이퍼 슬라이싱 기계: SG 20

게르마늄 퍽 슬라이싱 SG 20에서: 42% 처리량 증가, 작업자 시간 절반

두꺼운 게르마늄 로드가 들어가 얇은 웨이퍼가 나옵니다. 절단면은 연삭 및 연마 대기열을 단축할 만큼 매끄럽습니다. 이 파일은 42%가 어디서 왔는지 기록합니다. 거의 모든 것이 더 빠른 절단에서 나온 것이 아니기 때문입니다.

+42%엔드투엔드 처리량 증가
전환 후 작업자 시간
0웨이퍼 가장자리 칩핑 보고됨
1프로그램, 혼합 두께
§ 01 · 문제

게르마늄 퍽 슬라이싱을 무한 루프 와이어로 옮기는 이유는 무엇입니까?

게르마늄 퍽 슬라이싱은 광학 장비에서 가장 간단한 작업처럼 보입니다. 두꺼운 로드를 가져와 얇은 웨이퍼로 절단하여 하류로 보냅니다. 이 파일의 고객인 적외선 광학 제조업체에 공급하는 게르마늄 웨이퍼 생산 업체는 정확히 그렇게 하고 있었고 모든 절단에서 양쪽 끝에서 돈을 잃고 있었습니다. 전면에서는 웨이퍼 가장자리가 칩핑되었습니다. 단결정 게르마늄 {111} 평면을 따라 쉽게 쪼개지며, 칩핑된 가장자리 하나하나가 웨이퍼를 완전히 폐기하거나 연삭 스테이션에서 제거하기 위해 표면을 더 깊이 파고들게 했습니다. 후면에서는 노동력이 필요했습니다. 기존의 톱질 공정은 모든 절단 중에 작업자가 옆에서 지켜보고, 조정하고, 언로드하고, 다시 시작해야 했습니다.

두 비용 모두 톱의 사양 시트에는 나타나지 않습니다. 둘 다 배송된 웨이퍼당 비용에 나타납니다. 이것이 이 사례가 블레이드 대 와이어가 아닌 엔드 투 엔드로 측정되는 이유입니다.

§ 02 · 절단

절단된 면은 어떻게 보입니까?

기계는 SG 20 무한 다이아몬드 와이어 톱입니다. 전기 도금된 다이아몬드 와이어의 닫힌 루프가 고속으로 한 방향으로 순환합니다. 앞뒤 왕복 운동, 회전하는 블레이드, 역회전 흔적이 없습니다. 게르마늄 퍽 슬라이싱의 경우 와이어는 10-20mm/min의 공급 속도로 로드 직경을 똑바로 통과하며, 루프가 순환함에 따라 연마 표면이 지속적으로 갱신되기 때문에 절단면은 로드의 첫 번째 웨이퍼부터 마지막 웨이퍼까지 균일하게 유지됩니다.

이 고객의 로드에 대한 결과는 와이어 슬라이싱에서 일반적으로 볼 수 있는 것과 일치했습니다. 게르마늄 일반적으로: 절단된 표면 거칠기 Ra 0.6-1.2 μm, 50mm 웨이퍼 전체 두께 변이 8-15 μm, 그리고 그들에게 가장 중요했던 수치인 가장자리 칩핑 없음. 그들의 입고 검사는 칩핑된 가장자리를 찾고 매핑하는 데 맞춰져 있었습니다. 전환 후 해당 검사 단계에서는 매핑할 것이 아무것도 발견되지 않았습니다.

매끄럽고 칩핑 없는 면은 품질 통계일 뿐만 아니라 일정입니다. 톱이 남기는 모든 마이크로미터의 표면 아래 손상은 연삭 및 연마 라인이 제거해야 하는 마이크로미터입니다. SG 20에서 나온 웨이퍼는 제거할 재료가 적고 칩 복구 여유가 없어 연삭에 들어갔으며, 하류 스테이션은 하류 기계를 전혀 변경하지 않고 속도를 높였습니다.

판 I. 기록된 테스트 절단: 고객 자격 증명 중에 촬영된 게르마늄을 절단하는 SG 20.
§ 03 · 프로그램

어떻게 하면 노동력을 절반으로 줄이는 프로그램을 만들 수 있습니까?

SG 20의 제어 소프트웨어는 Vimfun에서 자체 개발했으며, 일반적인 모션 컨트롤러가 아닌 실제 슬라이싱 장비의 작동 방식을 중심으로 작성되었습니다. 이 배포에서 작업한 세 가지 동작은 다음과 같습니다.

  • 한 프로그램에서 혼합 두께. 단일 절단 작업에서 순차적으로 다른 웨이퍼 두께를 가질 수 있습니다. 예를 들어, 5mm 웨이퍼를 실행한 다음 동일한 로드에서 8mm 웨이퍼를 실행할 수 있습니다. 작업자는 두께 목록과 수량을 한 번 입력합니다.
  • 무인 실행. 프로그램이 시작되면 아무도 기계 옆에 있을 필요가 없습니다. 톱은 인덱싱하고, 절단하고, 전체 목록을 자체적으로 진행합니다.
  • 알람과 함께 자동 중지. 프로그래밍된 마지막 웨이퍼가 절단되면 기계가 자체적으로 중지되고 완료를 알립니다. 작업자가 작업을 끝까지 지켜볼 필요가 없으며, 계획보다 더 많이 로드를 절단하지 않습니다.

전환 전에는 슬라이싱이 상주형 스테이션이었습니다. 그 후, 작업자는 로드를 로드하고, 프로그램을 시작하고, 알람이 다시 호출될 때까지 다른 장비를 작동하기 위해 떠납니다. 교대 근무 전반에 걸쳐 고객의 게르마늄 퍽 슬라이싱에 대한 작업자 요구 사항은 대략 절반으로 줄었습니다. 기계에서 인력을 줄이는 것이 아니라 기계가 더 이상 감독을 요구하지 않기 때문입니다.

§ 04 · 숫자

42%는 실제로 어디서 나왔습니까?

고객은 게르마늄 퍽 슬라이싱을 SG 20으로 옮긴 이후 전반적인 효율성이 42% 증가했다고 보고합니다. 그 숫자가 무엇인지 정확히 파악할 가치가 있습니다. 왜냐하면 그것은 와이어 속도 주장이 아니기 때문입니다. 그것은 로드에서 완성된 웨이퍼까지의 전체 흐름에 대한 엔드투엔드 수치이며, 세 가지 출처에서 누적됩니다.

출처메커니즘
하류 시간가장 큰 비중. 매끄럽고 칩핑 없는 면과 얕은 표면 아래 손상은 각 웨이퍼에서 연삭 및 연마해야 하는 재료가 적다는 것을 의미합니다. 톱 뒤의 대기열은 해당 기계를 건드리지 않고 단축되었습니다.
스크랩 복구더 이상 가장자리 칩핑으로 인해 손실되지 않는 웨이퍼는 용해로 돌아가는 대신 출하됩니다. 더 빠르게 절단하지 않고도 확보된 용량입니다.
기계 가동 시간무인 실행은 휴식 및 작업 전환 중에도 톱이 계속 절단되도록 합니다. 자동 중지는 작업이 밤낮으로 계획대로 정확하게 완료됨을 의미합니다.
공정한 경고 귀하의 숫자가 자동으로 42%가 되지는 않을 것입니다. 해당 수치는 이 고객의 시작점을 반영합니다. 즉, 상주형 감독이 필요한 칩핑이 발생하기 쉬운 공정입니다. 이미 깨끗한 절단을 무인으로 실행하는 장비는 더 적은 이익을 볼 것이고, 가장자리 칩핑으로 인해 웨이퍼를 폐기하는 장비는 더 많은 이익을 볼 수 있습니다. 메커니즘은 이전되지만 백분율은 해당 장비에 따라 다릅니다.
무한 다이아몬드 와이어에서 게르마늄 퍽 슬라이싱 — 루프가 로드 직경을 통과합니다.
판 II. 와이어 미드 컷. 커프는 와이어 직경과 같습니다. 연마 표면은 루프가 순환함에 따라 갱신됩니다.
Vimfun 무한 다이아몬드 와이어 톱이 고객 생산 라인에 설치 및 시운전되었습니다.
판 III. 고객 바닥에 설치된 SG 시리즈 톱. 시운전에는 고객의 두께 목록에 대한 프로그램 설정이 포함됩니다.
§ 05 · 맥락

슬라이싱은 2개 시스템 플랫폼의 한 시스템입니다.

여기에 문서화된 슬라이싱 동작은 SG/SGI 플랫폼의 두 제어 시스템 중 하나입니다. 다른 하나는 CAD 도면에서 프로그래밍된 윤곽을 절단합니다. — 우리의 기능 뒤에 있는 Sunny Optical과의 불규칙한 게르마늄 렌즈 절단 사례, 여기서 초승달 모양의 렌즈와 R1 코너가 같은 등급의 와이어에서 나왔습니다. 웨이퍼용 플랫폼을 구매하는 상점은 모양의 옵션을 유지하고 그 반대도 마찬가지입니다.

두 경우 모두 동일한 툴체인의 맨 앞에 있습니다. 와이어 톱은 센터링, 구면 연삭 및 연마 스테이션에 공급합니다. 게르마늄 렌즈 제조 장비 라인업, 전체의 일부 적외선 광학 처리 장비 범위. 완전한 로드에서 코팅된 렌즈 흐름을 측정하는 팀은 적외선 광학 생산 라인 개요를 참조하십시오.

§ 06 · 귀하의 로드

게르마늄 퍽 슬라이싱은 증거로 자격을 부여하기 가장 쉬운 작업입니다. 로드 직경, 길이 및 대상 두께 목록을 보내주시면 SG 20에서 재료를 절단합니다. — 단일 프로그램에서 혼합 두께, 원하는 경우 필름 처리, 귀하의 계측으로 배송된 웨이퍼.

로드 치수 및 두께 목표를 다음으로 보내주십시오. daria@endlesswiresaw.com 테스트 슬라이싱 계획을 위해.

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