사파이어 웨이퍼 절단 중 스트레스 손상을 줄이는 방법
소개 압력 하에서 사파이어의 취약성 사파이어 웨이퍼는 뛰어난 경도, 광학 투명성 및 열 안정성으로 인해 반도체, 광전자 및 LED 애플리케이션에서 높은 평가를 받고 있습니다. 그러나 동일한 경도 때문에 사파이어 웨이퍼 절단은 본질적으로 섬세한 공정입니다. 적절하게 제어하지 않으면 절단 시 잔류 응력이 발생하여 미세 균열, 가장자리 칩핑, [...]이 발생할 수 있습니다.
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